A、整罩分光特性超差
B、均勻性不好
C、表面不好
D、膜層牢固度不好

A、640~660nm
B、640~655nm
C、630-660nm
D、635-660nm

A、電腦
B、擴散泵
C、電子槍
D、光斑

A、OPM
B、EB
C、MBP
D、PFC

A、1.5E-3Pa
B、5.0E-3Pa
C、2.0E-3Pa
D、5.0E-5Pa