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問答題

【簡(jiǎn)答題】定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低？高選擇比意味著什么？

答案：

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【簡(jiǎn)答題】定義刻蝕速率并描述它的計(jì)算公式。為什么希望有高的刻蝕速率？

答案：

【簡(jiǎn)答題】刻蝕工藝有哪兩種類型？簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。

答案：刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕。
干法刻蝕是把硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過光刻膠中開出的窗口...