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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】外延技術(shù)分為哪些?

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外延技術(shù)

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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述蒸鍍與濺射的區(qū)別

答案:

蒸鍍:讓材料加熱氣化(發(fā)射出粒子),再沉積到基片上成膜。
濺射:用離子轟擊,將靶材原子打出來(lái),再沉積到基片上成膜。

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