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探頭指向角是晶片尺寸和介質(zhì)中波長的函數(shù)。它隨頻率增加、晶片直徑減小而增大。
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在近場區(qū)對缺陷定量,可以提高對缺陷定量的精度。
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直探頭近場區(qū)在兩種介質(zhì)中的分布用N表示:N= D
2
/4λ-L
1
C
1
/C
2
。
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