A.用擴散泵來獲得較高的真空 B.擴散泵、分子泵需要一定的真空才能工作 C.機械泵與擴散泵、分子泵必須共同使用 D.A+B
A.減少 B.不變 C.增加 D.人員要求高
A.先粗檢,后細檢 B.先細檢,后粗檢 C.都可以 D.只需進行細檢