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填空題

精密和超精密加工機床主軸軸承的常用形式有（）和（）。

答案：液體靜壓軸承；空氣靜壓軸承

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超精密機床導軌部件要求有極高的直線運動精度，不能有爬行。除要求導軌有很高的制造精度外，還要求導軌的材料具有（）、（）和（）。

答案：很高的穩(wěn)定性；耐磨性；抗振性

等脈沖電源是指每個脈沖在介質擊穿后所釋放的單個脈沖能量相等。對于矩形波等脈沖電源，每個脈沖放電持續(xù)時間相同。

答案：正確