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填空題
實(shí)現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對(duì)刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無(wú)缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。
答案：
超微量去除技術(shù)；極高的硬度和耐磨性；刃口極其鋒利
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填空題
超聲波加工主要是利用（）作用來去除材料的，同時(shí)產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除效果，故適于加工（）材料。
答案：
磨料在超聲振動(dòng)作用下的機(jī)械撞擊和拋磨；硬脆
