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填空題

激光加工設備主要包括電源、（）、（）、（）、（）、冷卻系統(tǒng)等部分。

答案：激光器；光學系統(tǒng)；機械系統(tǒng)；控制系統(tǒng)

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實現超精密加工的技術支撐條件主要包括：（）、（）、（）、（）、高質量的工件材料、超穩(wěn)定的加工環(huán)境條件等。

答案：超精密加工機理與工藝方法；超精密加工機床設備；超精密加工工具；精密測量和誤差補償

電火花型腔加工的工藝方法有：（）、（）、（）、簡單電極數控創(chuàng)成法等。

答案：單電極平動法；多電極更換法；分解電極法