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單項選擇題

正常情況下，真空室內(nèi)部清洗干凈后，機(jī)器的抽氣速度將（）。

A、變慢
B、變快
C、不變
D、無法判斷

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多項選擇題

下列哪些因素影響內(nèi)外排的均勻性？（）

A、電子槍光斑的位置
B、電子槍光斑的形狀、大小
C、真空度不穩(wěn)定
D、修正板的形狀和上升高度

多項選擇題

真空室內(nèi)部清掃不干凈，可能會導(dǎo)致以下哪些結(jié)果？（）

A、機(jī)器抽速慢
B、產(chǎn)品表面質(zhì)量差
C、機(jī)器效率降低
D、分光特性不重復(fù)