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填空題

普通加熱工藝鍍制的薄膜微觀結(jié)構(gòu)是柱狀結(jié)構(gòu)，為了改善膜層結(jié)構(gòu)，提高聚集密度，分別出現(xiàn)了三種成膜工藝（）、（）、（）。

答案： 離子輔助鍍；反應(yīng)離子鍍；濺射鍍
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