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問答題

【簡答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程？

答案：

整形處理，切片，磨片和倒角，刻蝕，拋光，清洗，硅片評估，包裝。

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第二步：通過化學反應將冶金級硅提純以生成三氯硅烷
第三步：利用西...

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