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填空題

延生長方法比較多，其中主要的有（）外延、（）外延、金屬有機化學氣相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

答案：化學氣相；液相；分子束

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半導體材料可根據(jù)其性能、晶體結(jié)構(gòu)、結(jié)晶程度、化學組成分類。比較通用的則是根據(jù)其化學組成可分為（）半導體、（）半導體、固溶半導體三大類。

答案：元素；化合物

雜質(zhì)原子在半導體中的擴散機理比較復雜，但主要可分為（）擴散和（）擴散兩種。

答案：替位；間隙