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填空題

拋光片的質(zhì)量檢測項目包括:幾何參數(shù),直徑、()、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等;(),電阻率,載流子濃度,遷移率等;晶體質(zhì)量,晶向,位錯密度。

答案: 厚度;電學(xué)參數(shù)
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