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填空題

光刻工藝一般都要經(jīng)過涂膠、（）、曝光、（）、堅膜、腐蝕、（）等步驟。

答案：前烘；顯影；去膠

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腐蝕V形槽一般采用（）的濕法化學腐蝕方法。

答案：各向異性

用肉眼或顯微鏡可觀察二氧化硅的以下質(zhì)量：顏色（）、結(jié)構(gòu)（）；表面無（）、無（）、不發(fā)花；表面無裂紋、（）。

答案：是否均勻；是否致密；斑點；白霧；無針孔