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問答題

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答案： Si工藝體硅微機械加工工藝（Bulkmicromaching）——用晶圓自身材料來制作MEM...

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答案：

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答案： 1）銅在SiO₂中極易擴散，造成對硅器件的沾污：增加SiO₂的漏電流；增加結(jié)...