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多項選擇題

解決氧化層中的鈉離子沾污的方法有（）。

A.加強(qiáng)工藝操作
B.加強(qiáng)人體和環(huán)境衛(wèi)生
C.使用高純化學(xué)試劑、高純水和超凈設(shè)備
D.采用HCl氧化工藝
E.硅片清洗后，要充分烘干，表面無水跡

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多項選擇題

二氧化硅層中的鈉離子可能來源于（）。

A.玻璃器皿
B.高溫器材
C.人體沾污
D.化學(xué)試劑
E.去離子水

單項選擇題

鈉、鉀等大離子在二氧化硅結(jié)構(gòu)中是（）雜質(zhì)。

A.替位式
B.間隙式
C.施主
D.可能是替位式也可能是間隙式