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單項(xiàng)選擇題

如果磷在二氧化硅中擴(kuò)散，對擴(kuò)散率影響最大的因素是：（）。

A.擴(kuò)散劑總量
B.壓強(qiáng)
C.溫度
D.濃度

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單項(xiàng)選擇題

用電容－電壓技術(shù)來測量擴(kuò)散剖面分布是用了（）的原理。

A.pn結(jié)理論
B.歐姆定律
C.庫侖定律
D.四探針技術(shù)

單項(xiàng)選擇題

在確定擴(kuò)散率的實(shí)驗(yàn)中，擴(kuò)散層電阻的測量可以用（）測量。

A.SIMS技術(shù)
B.擴(kuò)展電阻技術(shù)
C.微分電導(dǎo)率技術(shù)
D.四探針技術(shù)