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單項(xiàng)選擇題

通常熱擴(kuò)散分為兩個(gè)大步驟，其中第一個(gè)步驟是（）。

A.再分布
B.等表面濃度擴(kuò)散
C.預(yù)淀積
D.等總摻雜劑量擴(kuò)散

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單項(xiàng)選擇題

下列哪些元素在硅中是快擴(kuò)散元素：（）。

A.Na
B.B
C.P
D.As

單項(xiàng)選擇題

He，OH，Na等元素在900℃下，在二氧化硅中的擴(kuò)散率大于10－13cm²/s，這些元素稱(chēng)為（）。

A.活躍雜質(zhì)
B.快速擴(kuò)散雜質(zhì)
C.有害雜質(zhì)
D.擴(kuò)散雜質(zhì)