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下列可作為磷擴散源的是()。
A.磷鈣玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.摻磷二氧化硅乳膠源
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多項選擇題
下列擴散雜質源中,()不僅是硅常用的施主雜質,也是鍺常用的施主雜質。
A.硼
B.錫
C.銻
D.磷
E.砷
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單項選擇題
半導體硅常用的受主雜質是()。
A.錫
B.硫
C.硼
D.磷
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