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多項選擇題

晶片經(jīng)過顯影后進行堅膜，堅膜的主要作用有（）。

A.除去光刻膠中剩余的溶劑
B.增強光刻膠對晶片表面的附著力
C.提高光刻膠的抗刻蝕能力
D.有利于以后的去膠工序
E.減少光刻膠的缺陷

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