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單項選擇題

晶體中，每個原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置時其勢能為（）。

A.極大值
B.極小值
C.既不極大也不極小
D.小于動能

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單項選擇題

離子源腔體中的氣體放電形成（）而引出正離子的。

A.等離子體
B.不等離子體
C.正離子體
D.液電流

多項選擇題

離子注入的主要氣體源中，易燃、易爆的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.三氟化硼
D.硅烷
E.氧氣