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單項選擇題

（）的氣體源中一般包含H⁺，C⁺，B⁺，Cl⁺，O⁺等離子。

A.Cl₂
B.BCl₃
C.CO₂
D.H₂

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單項選擇題

離子源產(chǎn)生的離子在（）的加速電場作用下得到加速。

A.分析器
B.掃描器
C.加速器
D.偏轉(zhuǎn)器

單項選擇題

Torr是指（）的單位。

A.真空度
B.磁場強度
C.體積
D.溫度