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單項選擇題

在各種離子源常用的放電方式中，EOS是指有（）。

A.電子振蕩放電
B.離子自動放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電

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多項選擇題

離子注入的主要?dú)怏w源中，劇毒的有（）。

A.砷化氫
B.二硼化氫
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷

單項選擇題

離子注入裝置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系統(tǒng)等。

A.中子源
B.離子源
C.電子源
D.質(zhì)子源