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單項(xiàng)選擇題

請?jiān)谙铝羞x項(xiàng)中選出多晶硅化金屬的英文簡稱：（）。

A.Oxide
B.Nitride
C.Silicide
D.Polycide

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請?jiān)谙铝羞x項(xiàng)中選出硅化金屬的英文簡稱：（）。

A.Oxide
B.Nitride
C.Silicide
D.Polycide

單項(xiàng)選擇題

單晶硅刻蝕一般采用（）做掩蔽層，以氟化氫為主要的刻蝕劑，氧氣為側(cè)壁鈍化作用的媒介物。

A.氮化硅
B.二氧化硅
C.光刻膠
D.多晶硅