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單項選擇題

（）是通過把被蒸物體加熱，利用被蒸物在高溫時的飽和蒸汽壓來進(jìn)行薄膜沉積的。

A.蒸鍍
B.濺射
C.離子注入
D.CVD

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單項選擇題

（）是以物理的方法來進(jìn)行薄膜沉積的一種技術(shù)。

A.LPCVD
B.PECVD
C.CVD
D.PVD

單項選擇題

物理氣相沉積簡稱（）。

A.LVD
B.PED
C.CVD
D.PVD