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單項(xiàng)選擇題

（）是與氣體輝光放電現(xiàn)象密切想關(guān)的一種薄膜淀積技術(shù)。

A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積

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單項(xiàng)選擇題

用高能粒子從某種物質(zhì)的表面撞擊出原子的物理過(guò)程叫（）。

A.蒸鍍
B.離子注入
C.濺射
D.沉積

多項(xiàng)選擇題

真空鍍膜室是由（）幾部分組成。

A.鐘罩
B.蒸氣源加熱器
C.襯底加熱器
D.活動(dòng)擋板
E.底盤(pán)