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單項選擇題

在半導(dǎo)體器件制造中，對清洗用水的純度有比較高的要求，要用經(jīng)過純化的（）作為清潔用水。

A.蒸餾水
B.自來水
C.去離子水
D.礦泉水

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單項選擇題

銅互連金屬多層布線中，磨料的粒徑一般為（）。

A.5~10nm
B.20~30nm
C.50~80nm
D.100~200nm

單項選擇題

在酸性漿料中，最常使用的氧化劑為（）。

A.硝酸
B.硝酸銅
C.硫酸
D.磺酸