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多項選擇題

微電子領域內(nèi)，下列測厚儀中屬于有臺階的測厚儀為（）。

A.臺階儀
B.干涉顯微鏡
C.光切顯微鏡
D.掃描電鏡
E.橢偏儀

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單項選擇題

電氣測量儀表中，整流式對電流的種類與頻率的適用范圍是（）。

A.直流
B.工頻及較高頻率的交流
C.直流及工頻交流
D.直流及工頻與較高頻率的交流

多項選擇題

電氣測量儀表若按照電流的種類來分，有（）。

A.低壓儀表
B.高壓儀表
C.直流儀表
D.交流儀表
E.交直流儀表