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問答題

【簡答題】離子源的目的是什么？最常用的離子源是什么？

答案：

目的：使待注入的物質以帶電粒子束的形式存在
最常用的源：Freeman離子源和Bernas離子源

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【簡答題】例舉離子注入設備的5個主要子系統。

答案：（1）離子源：待注入物質必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。注入離子在離子源中產生
（2）引出電極（吸極）和離子...

【簡答題】例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。

答案：離子注入的優(yōu)點：
（1）精確控制雜質含量和分布
（2）很好的雜質均勻性
（3）對雜質穿透深...