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填空題

氣體擴(kuò)散法是將含（）的氣體在高溫下向硅片進(jìn)行擴(kuò)散，形成（），一般都用這一方法。

答案：磷；pn結(jié)

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由于線切割面是被機(jī)械沖擊過，因此會殘留結(jié)晶變形，使電氣特性變壞，因此需用HF+HNO3進(jìn)行腐蝕，使表面（）的程度。

答案：減薄10—20µm

目前太陽能電池用的鑄模，仍以生產(chǎn)性能高的（）為主。

答案：線形鋸切割