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填空題

在多晶硅薄膜制造裝置中可使用RTP，將得到的燈光用（），然后緩慢地移動位置，使多晶硅薄膜再結(jié)晶化。

答案：聚光鏡聚光

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壓模可分為兩部分，（）和加熱裝置。

答案：真空室

高效率太陽能電池有（）和CECO兩種結(jié)構(gòu)的。

答案： PERL