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填空題

干式法由于應力自由，因此既可以適用于切割（）基片，又可以適用于高效率的過程。

答案：大面積

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由表面蝕刻結構所形成的（）的提高，是高效率所不可缺少的。

答案：光封閉效果

在多晶硅電池片上用等離子體進行的化學（）生產(chǎn)氮化硅膜是歷來常用的方法。

答案：氣相沉積法