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填空題

（）既不會產(chǎn)生有毒氣體也沒有廢棄物，也不需要冷水，因此常設(shè)置在內(nèi)陸地區(qū)電力需求大的地域附近。

答案：整流天線

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用半導(dǎo)體的微細(xì)加工技術(shù)，在非晶基片上通過使用微細(xì)的表面結(jié)構(gòu)，考察了單晶成長方法，并命名為（）

答案：光刻外延法

MBGE法成為多晶的理由是，有（）得到的金字塔形的山和谷的距離只有約1µm左右，因此可以認(rèn)為在結(jié)晶核和生長層之間不形成溫度差。

答案：刻蝕