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填空題

托板和磨架導(dǎo)軌共有數(shù)個(gè)靜壓腔，壓力采用螺旋毛細(xì)管節(jié)流調(diào)節(jié)，浮起量為（）左右。

答案： 0.005-0.01mm

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電子手輪可分別控制（）軸。

答案： Z，X，U，X1

兩側(cè)頭及長(zhǎng)光柵采用德國(guó)海登漢公司產(chǎn)品，測(cè)量精度高。長(zhǎng)光柵進(jìn)度為（），短光柵精度為（）。

答案： 0.005mm；0.001mm