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填空題

縮略語PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱分別是()、()、高密度等離子體化學氣相淀積和()。

答案: 等離子體增強化學氣相淀積;低壓化學氣相淀積;常壓化學氣相淀積
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填空題

淀積膜的過程有三個不同的階段。第一步是(),第二步是(),第三步是()。

答案: 晶核形成;聚焦成束;匯聚成膜
填空題

目前常用的CVD系統(tǒng)有()、()和()。

答案: APCVD;LPCVD;PECVD
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