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填空題

硅片平坦化的四種類型分別是（）、部分平坦化、（）和（）。

答案：平滑；局部平坦化；全局平坦化

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終點(diǎn)檢測(cè)是指（）的一種檢測(cè)到平坦化工藝把材料磨到一個(gè)正確厚度的能力。兩種最常用的原位終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)是（）和（）。

答案： CMP設(shè)備；電機(jī)電流終點(diǎn)檢測(cè)；光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)

寫出三種半導(dǎo)體制造業(yè)的金屬和合金（）、（）和（）。

答案： Al；Cu；鋁銅合金