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填空題

隨著銅布線中大馬士革工藝的引入，金屬化工藝變成刻蝕（）以形成一個(gè)凹槽，然后淀積（）來(lái)覆蓋其上的圖形，再利用（）把銅平坦化至ILD的高度。

答案：介質(zhì)；金屬；CMP

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在干法刻蝕中發(fā)生刻蝕反應(yīng)的三種方法是（）、（）和（）。

答案：化學(xué)作用；物理作用；化學(xué)作用與物理作用混合

光刻包括兩種基本的工藝類型：負(fù)性光刻和（），兩者的主要區(qū)別是所用光刻膠的種類不同，前者是（），后者是（）。

答案：正性光刻；負(fù)性光刻膠；正性光刻膠