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填空題

芯片硅片制造廠可以分為6個獨立的生產區(qū)：擴散區(qū)、（）、刻蝕區(qū)、（）、（）和拋光區(qū)。

答案：光刻區(qū)；注入區(qū)；薄膜區(qū)

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熱擴散利用（）驅動雜質穿過硅的晶體結構，這種方法受到（）和（）的影響。

答案：高溫；時間；溫度

硅中固態(tài)雜質的熱擴散需要三個步驟（）、（）和（）。

答案：預淀積；推進；激活