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名詞解釋
蒸發(fā)鍍膜
答案：
加熱蒸發(fā)源，使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出，形成蒸汽流并入射到硅片（襯底）表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。
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名詞解釋
濺射鍍膜
答案：
濺射鍍膜是利用電場(chǎng)對(duì)輝光放電過程中產(chǎn)生出來的帶電離子進(jìn)行加速，使其獲得一定的動(dòng)能后，轟擊靶電極，將靶電極的原子濺射出來，...
