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名詞解釋

恒定表面源擴散

答案：

在整個擴散過程中，雜質(zhì)不斷進入硅中，而表面雜質(zhì)濃度始終保持不變。

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有限表面源擴散

答案：

擴散開始時，表面放入一定量的雜質(zhì)源，而在以后的擴散過程中不再有雜質(zhì)加入，此種擴散稱為有限源擴散。

間隙式擴散

答案：間隙式擴散指間隙式雜質(zhì)從一個間隙位置運動到相鄰的間隙位置。