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多項選擇題

濕法蝕刻具有以下哪些缺點（）。

A.化學藥品處理時人員會遭遇的安全問題
B.反應溶液及去離子水需花費較高成本
C.光刻膠會產(chǎn)生附著性問題
D.蝕刻不均勻

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多項選擇題

干法蝕刻通常指利用輝光放電方式，產(chǎn)生等離子體來進行圖案轉移的蝕刻技術。其中等離子體含有（）。

A.離子、電子
B.中性原子
C.分子
D.自由基

多項選擇題

廣義而言，所謂的蝕刻技術可以分為（）。

A.干蝕刻
B.濕蝕刻
C.中性蝕刻
D.無側蝕蝕刻