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多項(xiàng)選擇題

在酸性氯化銅蝕刻液體系的再生方法中，由于氯氣是強(qiáng)氧化劑，直接通氯氣是再生的最好方法。是因?yàn)椋ǎ?/h4>

A.成本低
B.再生速率快
C.無(wú)污染
D.設(shè)備簡(jiǎn)單

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多項(xiàng)選擇題

在酸性氯化銅蝕刻過(guò)程出現(xiàn)抗蝕劑破壞的原因可能有（）。

A.溶液溫度過(guò)高
B.溶液被污染
C.顯影有余膠
D.傳遞速度過(guò)快

多項(xiàng)選擇題

影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個(gè)方面（）。

A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件