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在蝕刻過程中,添加某些添加劑可以降低側蝕程度。
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側蝕程度的大小與蝕刻液的種類、組成和所使用的蝕刻工藝及設備有關。
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濕法蝕刻時蝕刻液的腐蝕是各向同性的,腐蝕發(fā)生在和溶液接觸的各個方面。
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