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填空題

側(cè)蝕嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成電路（）。當(dāng)銅箔厚度相同時(shí)，可用側(cè)蝕寬度來比較側(cè)蝕的大小，衡量蝕刻質(zhì)量的優(yōu)劣，側(cè)蝕寬度（），蝕刻質(zhì)量越差。

答案：斷路；越大

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（）是由側(cè)面蝕刻而產(chǎn)生的，它發(fā)生在抗蝕層圖形的下面。

答案：側(cè)蝕

蝕刻技術(shù)可分為（）和干蝕刻兩類。

答案：濕蝕刻