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判斷題

CTE是中心速率與邊緣速率的比值。

答案：正確

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CMP對(duì)于征尺寸小于0.25um的產(chǎn)品無(wú)任何影響。

答案：錯(cuò)誤

氧化膜和鎢的研磨液都具有高選擇性。

答案：錯(cuò)誤