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填空題

ARL-MA及ARL4460光譜儀采用（）真空系統(tǒng)，由初級泵（）和次級泵（）組成。其中（）的轉(zhuǎn)速達(dá)（）轉(zhuǎn)/分鐘，其完全停止需要5分鐘以上的時(shí)間。

答案：無油型；薄膜泵；分子泵；分子泵；27000

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4460、DV-6、，MA光譜儀對氬氣的輸入壓力要求為（）MPa。

答案： ≥0.2

光柵是儀器的心臟，DV-6光譜儀的光柵規(guī)格為（）條/mm。ARL-MA光譜儀的光柵規(guī)格為（）條/mm。ARL4460光譜儀的光柵規(guī)格為（）條/mm。

答案： 1667；1667；1667