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【簡(jiǎn)答題】自摻雜效應(yīng)與互擴(kuò)散效應(yīng)
答案:
左圖:自摻雜效應(yīng)是指高溫外延時(shí),高摻雜襯底的雜質(zhì)反擴(kuò)散進(jìn)入氣相邊界層,又從邊界層擴(kuò)散摻入外延層的現(xiàn)象。自摻雜效應(yīng)是氣相外...
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