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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散方式有哪些？

答案：

恒定表面源擴(kuò)散和限定表面源擴(kuò)散

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答案：

橋鍵氧原子和非橋鍵氧原子

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答案： 1）在某種情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面，還要保持對(duì)雜質(zhì)類(lèi)型和濃度的控制，通過(guò)外延技術(shù)在硅表面沉...