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問答題

【簡答題】什么是擴(kuò)散工藝？

答案：擴(kuò)散是微電子工藝中最基本的工藝之一，是在約1000℃的高溫、p型或n型雜質(zhì)氣氛中，使雜質(zhì)向襯底硅片的確定區(qū)域內(nèi)擴(kuò)散，達(dá)到...

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【簡答題】什么是雜質(zhì)分凝效應(yīng)和分凝系數(shù)？

答案：任何一種雜質(zhì)在不同相中的溶解度是不相同的，當(dāng)兩個相緊密接觸時，原來存在某一相中的雜質(zhì)將在兩相之間重新分配，直到在兩相中濃...

【簡答題】氧化物有哪兩個生長階段？

答案：

化學(xué)反應(yīng)控制階段和擴(kuò)散控制階段