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問答題

【簡答題】APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名稱分別是？

答案：

常壓化學氣相淀積、低壓化學氣相淀積、等離子增強化學氣相淀積和高密度等離子體化學氣相淀積

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【簡答題】離子注入后為什么要退火？

答案：

1）氧化生成保護膜
2）離子再分布，減小雜質濃度差
3）修復損傷
4）激活注入雜質

【簡答題】什么是溝道效應？抑制方法？

答案： 1）溝道效應：襯底為單晶材料，離子束準確的沿著晶格方向注入，幾乎不會受到原子核的散射，其縱向分布峰值與高斯分布不同。一部...